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激光光束分析儀是用于測量激光光束直徑、形狀和空間強(qiáng)度分布的儀器。光束直徑和空間強(qiáng)度分布是描述激光光束特性的重要參數(shù)，決定了激光光束光束質(zhì)量。

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高功率激光材料測試儀用于高功率激光器和極深紫外EUV源的光學(xué)部件性能綜合測量，且性能和參數(shù)測量基于ISO國際標(biāo)準(zhǔn)。

光熱弱吸收測量儀、弱吸收測量儀，強(qiáng)激光材料性能測試儀，高功率激光薄膜光熱弱吸收測量儀，光學(xué)薄膜微弱吸收測量儀，光學(xué)材料光熱效應(yīng)測量儀